La nanolitografia è l'arte e la scienza dell'incisione, della scrittura o della stampa a livello microscopico, dove le dimensioni dei caratteri sono dell'ordine dei nanometri (unità di 10-9 metri o milionesimi di millimetro). Ciò include vari metodi per modificare i chip semiconduttori a livello atomico allo scopo di fabbricare circuiti integrati (CI).
Gli strumenti utilizzati nella nanolitografia includono il microscopio con sonda a scansione (SPM) e il microscopio a forza atomica (ATM). L'SPM consente la visualizzazione della superficie nei minimi dettagli senza necessariamente modificarla. Sia l'SPM che l'ATM possono essere utilizzati per incidere, scrivere o stampare su una superficie in dimensioni a singolo atomo.
Vedi anche nanomacchina e nanotecnologia.